Dotación de Equipos

  
EQUIPO
CANTIDAD
CARACTERÍSTICAS

Sistema de deposición de materiales por PULVERIZACIÓN CATÓDICA ASISTIDO POR CAMPO MAGNÉTICO o MAGNETRON SPUTTERING, para depositar materiales en monocapa y multicapas:
Aislantes.
Metales.
Cerámicos.
Semiconductores.
Superconductores.
Magnéticos.
Aleaciones de materiales.
ESPESORES.
Monocapas desde 50 nm hasta 1 micra dependiendo del tipo de material.

Multicapas: depende del interés.

TEMPERATURAS DE DEPOSICIÓN: desde temperaturas ambienta hasta temperaturas de 950ºC.

PRESIÓN DE TRABAJO:
desde 10 (-2) torr hasta 10 (-4) Torr, en atmosferas controladas (argón, nitrógeno, oxígeno, otro).

AREA MÁXIMA A RECUBRIR: 2 pulgadas sobre substratos planos (aislantes, metales, semiconductores, otros,).
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"1. Cámara de deposición de acero inoxidable con serpentín para refrigerla con agua desionizada:

diámetro aprox. 80 cm.

2. Sistema de Vacio: Bomba Mecánica y Turbo - Molecular.

3. Un magnetrón para Sputtering o cosputtering de blancos de 2"" de diámetro, para materiales magnéticos y no magnéticos. Modelo K.J.Lesker Torus2. Incluye obturador con atravesadora rotatoria manual de integración.

4. Fuente de alimentación RF, 300 Watt, K.J. Lesker con adaptador de impedancia manual para magnetrón de 2 pulgadas. Pot Max 200 Watt.

5. Un magnetrón para Sputtering o cosputtering de blanco de 1"" de diámetro, para materiales no magnéticos. Modelo K.J. Lesker Torus2, incluye obturador con atravesadora rotatoria manual de integración.

6. Fuente de alimentación RF, 300 Watt, K.J. Lesker con adaptador de impedancia manual para magnetrón de 1 pulgada. Pot Max 100 Watt.

7. Sistema de refrigeración - CHILLER, Recirculador enfriador de agua para enfriar 3 magnetrones de 1 pulgada y monitor de espesor. Incluye manifold con conectores rápidos e integración.

8. Válvulas para entrada de gases.

9. Válvulas manuales de introducción de gas de proceso, controladas independientemente.

10. Calentador hasta 950 ºC, con controlador de temperatura programable con rampas.

11. Sensores de presión bajo y alto vacio: Pirani (hasta 10 (-3) Torr) y cátodo frio (desde 10 (-3) Torr hasta 10 (-7) Torr)."
Monocromador: compartido con el Laboratorio de Magnetismo y Materiales Avanzados.
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Monocromador Sciencetech modelo 9055:

Longitud confocal de 250 mm, con una apertura de salida para utilizarse como espectrógrafo.

Control de la longitud de onda y selección de tres rejillas de difracción por computador a través de un motor de paso de alta precisión.

Aperturas: Manuales ajustables a la entrada y salida de la radiación - SS80. Ruled gratting - 600 1/mm Blazed@1600 nm.

Base ajustable para colocar los detectores.

Rejillas: holographic Grating - 1200 1/mm- VIS.

Scanning Monochromator Software SciSpec.
Tarjeta de Adquisición de datos por computador.
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Detector data adquisition system USB 16 bits AD digitalization -USB.
Detectores de radiación dual.
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Chopper (obturador óptico).
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SR 540 - Dual: permite modular dos señales ópticas simultáneamente.

Rango de frecuencia: 10 Hz to 1 KHz.

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